Mercury系列真空編碼器將高性能、小尺寸和高真空額定值相結合,應用范圍非常廣泛。 選擇具有數字或模擬輸出的型號,所有型號均使用高達10-8 托的真空兼容材料構造。
分辨率從5微米至78納米不等,精度達+/-1微米/米/
旋轉:
簡明規格:
直線:
分辨率從5微米至0.5微米不等,精度達+/-1微米/米/
旋轉:
分辨率從6,600到655,000 CPR不等,
精度達+/-2.1弧秒Mercury II Series
Mercury II系列高真空編碼器提供高的分辨率、精度和小巧的傳感器外形。所有型號均使用高達10-8 托的真空兼容材料構造。 由于MicroE的廣泛對準公差,編碼器更易于對齊、更易于使用或集成到您的設計中。
簡明規格:
直線:分辨率從5微米至1.22納米不等,精度達+/-1微米/米/。
旋轉:
分辨率從20,000到268M CPR不等,精度達+/-2.1弧秒
接口:A-quad-B數字接口(帶指數)
真空度:額定真空度為10-8 托